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特種氣體系統的設計與施工

特氣供氣系統

大規(guī)模供氣系統主要針對大規(guī)模量產的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽能電池生產線（氣體種類包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，特種氣體價格，采用1先進的工藝制程設備，用氣需求量大，對穩(wěn)定和不間斷供應、純度控制和安全生產提出嚴格的要求。

特種氣體在進樣中的注意事項

樣品氣的置換，由于特種氣都要經過減壓器和管線后才能取樣，要準確取樣必須將減壓器和管線進行充分的置換，這種置換不是簡單意義上的吹掃。因為減壓器的死體積很大，邯鄲特種氣體，不斷將鋼瓶閥打開關閉反復3次以上，每次將減壓器里的氣體排盡，然后再吹掃系統才能正確取樣。進樣管線的氣密性，進樣管線的泄漏，對樣品的數據的準確性有很大影響，對低濃度氧氣的影響更大。所以一定要嚴格檢查取樣管線的氣密性。

特種氣體的一般概念  

臨界溫度和臨界壓力。因為任何氣體在一點溫度和壓力下都可以液化，溫度越高，液化所需要的壓力也越高，但是當溫度超過某一數值時，即使在增加多大的壓力也不能液化，這個溫度叫臨界溫度 ，工業(yè)特種氣體，在這一溫度下zui低的壓力就叫做臨界壓力，電子特種氣體，例如：水的臨界溫度為374.15℃，臨界壓力為225.65kgf/cm2，氨的臨界溫度為132.4℃，臨界壓力為115.2kgf/cm2。

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